第476章 突飞猛进的科技(2 / 2)

满满的高科技感!

姜明尚语气带着兴奋:“这就是最新的dUV浸润式光刻机dK-1,目前已进入产线验证阶段,分辨精度达到180纳米,套刻后精度可达50纳米!”

“50纳米!”周博露出喜色。

这已经先进芯片的工艺精度了!

姜明尚继续介绍道:“看这里,这是投影物镜系统,采用了自主研发的折反射设计,数值孔径达到了0.75。这是实现高分辨率的关键。”

周博端详着这台庞然大物:“光源系统呢?”

“氩氟激光器,输出波长达到193纳米。”

姜明尚指向光刻机后部的一个密封单元,“这里就是浸润系统。

在一级物镜和硅片之间填充了高纯度去离子水,利用水对光的折射效应,有效将分辨率提升了35%以上。”

“稳定性如何?”

“我们开发了全新的双工作台系统。”姜明尚解释道,“一个工作台在进行曝光时,另一个工作台已经在为下一片晶圆进行测量和对准。这样将产能提升了近一倍,套刻精度控制在3纳米以内。”

周博满意地点头,看得出,姜明尚已经完全掌握了光刻机的设计,完全可以独当一面了。

有了dUV光刻机,芯片的发展就进入了快车道。

他笑了笑:“这一下,硅谷拍马也赶不上我们了!”

姜明尚一笑:“他们连干式光刻机还没折腾明白呢,浸润式,他们最少还需要二十年!”

“二十年,那我们EUV都要出来了!”

“EUV?那是什么东西!”

“呃,这个比较复杂,有时间我们详细聊!”

“好吧!”随即,姜明尚又拿起一块芯片,递给周博。

这枚芯片在灯光下泛着紫色的光泽,密密麻麻的引脚排列整齐,显示出极高的制造工艺水平。

上面有‘龙芯-1’的激光铭文字样。

姜明尚道:“基于全新dUV光刻工艺,你之前设计的龙芯-1已经流片成功!

采用80纳米工艺,集成度比上一代提升了15倍。

覆盖了军用、民用、车规级等各种标准。

未来,将为我们的军事、民用领域提供强大的‘大脑’。”

周博点点头,龙芯是一个全新系列,指令集更先进,功能也更强大,可以保证未来几十年的领先地位。

出了芯片实验室,几人又来到生产车间。

周博再次眼前一亮。

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